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供应电子级亚磷酸三甲酯TMPI

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详细说明

    电子级亚磷酸三甲酯 (TMPI)

一、分子式: P(OCH3)3

二、分子量: 124.08

三、理化性质

无色液体,有刺激性臭味,熔点-78℃,沸点111~112℃,密度1.05g/ml。易燃,不溶于水。遇水缓慢分解为磷酸和甲醇。

四、用途

主要用于晶圆制造过程中沉积生成磷硅酸玻璃(PSG)和硼磷硅酸玻璃(BPSG)的磷源。是半导体、微机电系统(MEMS)制造所需的重要电子化学品。

 
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