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国内厂家销售半导体行业用高纯电子级硼酸三甲酯TM

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详细说明

    电子级硼酸三甲酯TMB

一、分子式: B(OCH3)3

二、分子量:103.92

三、理化性质

无色液体，无明显气味，性质稳定。熔点-29℃，密度0.915g/ml，沸点67～68℃。易燃，

与氧化剂能发生强烈反应。水解生成甲醇和硼酸，能与有机溶剂混溶。

四、用途

主要用于晶圆制造过程中化学气相沉积（CVD）生成硼磷硅酸玻璃（BPSG）。是半导体、

分立器件、微机电系统（MEMS）制造所需的重要电子化学品。

 
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